技術介紹
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綁定優勢
技術特點
生產規格
. 平面矩形靶材單片綁定長度≤2m，背板不變形，不拉伸
. 平面圓片靶材最大綁定≤Φ650mm
. 可做硫化鉬、石墨、鐵氟龍等難綁靶材綁定
. 采用銦焊料焊接，結合率≥95%
. 靶材純度高3N-4N，燒結過程中不添加任何助劑
. 致密性高，可達到理論密度98%-99%，性能均一
. AZO粉體自制，粒徑微納米級，原料穩定性和批次性一致
. 靶材導電性能可根據客戶需求設計定制
. 導電精密陶瓷，100%自主研發，高度匹配客戶，可按需定制
. 平面靶材：圓片≤Φ450mm；矩形≤410mm*320mm；厚度可定制
. 旋轉靶材：內徑Φ45mm-Φ150mm；厚度可定制；單節長度≤250mm
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